SCMFM微氣體質量流量計

微氣體質量流量計的概述：

采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

微氣體質量流量計的技術參數(shù)：

2.1  測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2  流量范圍：DN3   30-300ml/min
               DN6   60-600ml/min
               DN8   80-800ml/min
               DN10  100-1000ml/min             
注：
   a)以上流量的測量介質為空氣而言；
   b)以上流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。
   c) 每個口徑量程范圍均可擴大
   d)特殊需要可單獨標定
2.3   流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍：0-55℃；
2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6   供電電源：24VDC±10%；
2.7   輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8   環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9   顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。  

微氣體質量流量計的工作原理：

uf感熱式芯片技術是采用大規(guī)模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度*，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產品穩(wěn)定性存在問題，實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴，大規(guī)模應用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：

式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。
如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。

微氣體質量流量計的分類與命名      

微氣體質量流量計的型號命名

微氣體質量流量計的機械尺寸

微氣體質量流量計的輸出

PIN1：報警輸出2
PIN2：報警輸出1
PIN4：RS485B
PIN5：RS485A
PIN11：電源負端（0V）
PIN12：電斷正端（24V）
PIN14：LOOP-  
PIN15：LOOP+
PIN3、6~10、13：信號地（報警信號參考地）

8.2 報警連接

8.3 RS485連接：

8.4 4-20mA輸出連接：